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产品详细
Apogee 450匀胶机
名称：可编程匀胶机
型号：Apogee450
品牌：Helicoater
产地：美国
参考价格：
应用：编程控制，精密匀胶制膜
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大尺寸匀胶机结合了极其精确的旋涂速度控制和高扭矩驱动，实现了强劲的加速度。适用于300毫米及更大晶圆和14英寸×14英寸的LCD正方形样品。
Apogee™精密匀胶机以高效、节省空间的设计提供稳定的质量性能、丰富的接口功能和强大的化学兼容性。大尺寸匀胶机结合了极其精确的旋涂速度控制和高扭矩驱动，实现了强劲的加速度。适用于300毫米及更大晶圆和14英寸×14英寸的LCD正方形样品。
产品特点：
l 紧凑的设计，最大限度地减少占地面积
l 全彩色7英寸触摸屏显示屏
l 高功率间接电机驱动系统
l 增强的盖提升辅助功能（气弹簧打开≥ 45°)
l 耐用的工作台设计，也可采用法兰/甲板安装配置
l DataStream™技术
l 可选X-PRO工作站集成独立机柜
l 带有上部排气罩，用于工艺烟气控制。
耐腐蚀内腔：
l 高密度聚乙烯（HDPE）旋转碗
l 多功能盖子设计，可实现工艺灵活性和可重复性
l 惰性旋转环境的可选氮气吹扫
l 集成排放口和排气口
技术参数：
l 触摸屏界面和显示器
l 支持全彩色字母数字的图形用户界面（GUI）
l 用户定义的配方程序步骤数量几乎不限
l 步进时间的分辨率为0.1秒（最大步进时间为9999.9秒）
l 旋转速度：6000 rpm
l 旋转速度加速度：
n 0~30000 rpm/s空载；
n 0~23000 rpm/s，使用300 mm基板；
n 0~3000 rpm/s，使用350 mm x 6 mm圆形嵌入式旋转卡盘；-0至400 rpm/s，使用嵌入式卡盘中的14”×14”×1.1 mm光罩
l 连接：用于通信的USB/以太网端口
l 用于使用DataStream™上载/下载过程参数技术
l 同步、自动化、多点分发功能
精确：
l 转速重复性：<0.2 rpm
l 转速分辨率：<0.2 rpm
l 基底尺寸：圆形小于1厘米至450毫米；14英寸x 14英寸正方形
可靠性：
l 间接驱动系统保护旋转电机不接触工艺化学品和溶剂
l 真空和盖联锁
l 业界领先的可靠性和正常运行时间
l 零件和人工的1年全面保修
l 在产品生命周期内免费提供远程技术支持（电话、电子邮件）
l 产品生命周期的应用过程协助
了解更多产品资料，请联系Helicoater工作人员, 400 860 1856.
外部接口：
l 电压范围：208-240 VAC，单相，50/60 Hz
l 功率要求：1440瓦（6A）
l 排水口：外径3/4英寸
l 排气口：外径1.5英寸，在0.2英寸水（0.6-1.4立方米/分钟）下为20至50立方英尺/分
l 真空度：>20“Hg（<33 kPa abs）
l 氮气或CDA（用于自动分配）：70 psi（482 kPa）
尺寸
l 27-5/8英寸（70.2厘米）宽×30-3/4英寸（78.2厘米）深×15-1/2英寸（39.4厘米）高*
l 机器重量：115磅（52.2千克）
l 装运重量：250磅（113.4千克）
l *高是盖上盖子的。盖子打开时，高为30-1/4英寸（76.9厘米）
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