HC160PE可编程匀胶机，采用高级PLC 全自动程序控制，转速精度高，稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。

特点：

•设计紧凑，可放置在手套箱内；

•4.3英寸彩色触屏控制，人机界面；

•经CNC一体加工成型的HDPE内腔，耐腐蚀，易清洁，带排废功能；

•内腔壁采用独特的凹面设计，有效防溅；

•高级PLC全自动程序控制，可编程；

•带真空度安全互锁检测功能；

•带盖子安全互锁检测功能；

•带排废接口；

•配置一个自动点胶接口，可升级自动点胶系统；

•可设置用户密码保护功能；

•配置可调基座，方便调节水平；

了解更多产品信息，请联系Helicoater工作人员，400 860 1856.

技术参数：

•适用晶元尺寸范围：Ø5~160mm；

•旋涂速度：100~12000rpm；

•转速分辨率：1rpm；

•旋涂加速度：100-30000rpm/s；

•最大旋涂时间：3000s；

•旋涂时间精度：0.1s；

•内腔直径220mm，内腔壁采用独特的凹面防溅设计；

•具备单步快速旋涂和多步编程旋涂，可编程100组程序，每组程序10步；

•电源输入：AC200-230V；

CNC一体成型的HDPE高分子耐腐蚀内腔

                                             带排废接口

设备外形尺寸：长X宽X高：310X254X250mm

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设备照片：

不锈钢外壳，耐腐蚀HDPE内腔，4.3英寸彩色触屏配合高级PLC编程控制。

可调基脚

随意停铰链

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