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产品特点:
l 紧凑的设计,最大限度地减少占地面积
l 全彩色7英寸触摸屏显示屏
l 耐用的工作台设计,也可采用法兰/甲板安装配置
l 增强的日志记录
l 冷触式排气罩
l 用于可编程高度控制的顶针
l 可调排气门
l DataStream™技术
烤罩设计:
l 全不锈钢结构
l 独特的双层设计可降低外部发动机罩温度
l 用于清除工艺化学品的排气罩
l 惰性烘烤环境的可选氮气吹扫
技术参数:
l 触摸屏界面和显示器
l 支持全彩色字母数字的图形用户界面(GUI)
l 用户定义的配方程序步骤数量几乎不限
l 步进时间的分辨率为0.1-s,范围为0至9999.9 s/步
l 几乎无限制的配方存储
l 四种自动烘焙方法:接触、真空、接近和顶针
l 100毫米、150毫米、200毫米和300毫米晶圆的烘烤板自动尺寸
l 温度数据记录
l 顶针可编程,增量为0.1mm,总范围为0-19 mm
l 连接:USB/以太网端口,用于通过数据流上传/下载过程参数™ 技术
精确
l 基板尺寸:最大300mm圆形;12英寸(304.8mm)方形基板
l 温度分辨率:0.1°C
l 温度范围:环境温度至300°C(400°C可选)
l 工作表面温度均匀性:0.3%
可靠性
l 卓越的正常运行时间
l 零件和人工的1年全面保修
l 在产品生命周期内免费提供远程技术支持(电话、电子邮件、传真)
了解更多产品信息,请联系Helicoater工作人员,400 860 1856。
外部接口:
l 电压范围:208-240 VAC,50/60 Hz
l 功率要求:3100-4100瓦
l 排气口:外径2”(50.8mm)
l 真空:20英寸汞柱(67.7帕)
l 排气:5至10立方英尺/分(141.6-283.2升/分钟)
l N2(烘烤板附近):35 psi(241.3 Pa)
尺寸
l 高18英寸x宽18.75英寸x深26.25英寸
l 机器重量:146磅(66.2千克)
l 装运重量:235磅(106.6千克)
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