产品详细
Apogee 300烤胶机

名称:精密烤胶机

型号:bake 300

品牌:Helicoater

产地:美国

参考价格:

应用:实现接触式、真空、接近式烤胶

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400 860 1856

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Apogee bake 300是为工艺和研发工程师设计的,针对需要大面积基板应用的烤胶机,并且能够处理最大尺寸为300mm的圆形或12“方形基板。

产品特点:

l 紧凑的设计,最大限度地减少占地面积

l 全彩色7英寸触摸屏显示屏

l 耐用的工作台设计,也可采用法兰/甲板安装配置

l 增强的日志记录

l 冷触式排气罩

l 用于可编程高度控制的顶针

l 可调排气门

l DataStream™技术

烤罩设计:

l 全不锈钢结构

l 独特的双层设计可降低外部发动机罩温度

l 用于清除工艺化学品的排气罩

l 惰性烘烤环境的可选氮气吹扫

技术参数:

l 触摸屏界面和显示器

l 支持全彩色字母数字的图形用户界面(GUI

l 用户定义的配方程序步骤数量几乎不限

l 步进时间的分辨率为0.1-s,范围为09999.9 s/

l 几乎无限制的配方存储

l 四种自动烘焙方法:接触、真空、接近和顶针

l 100毫米、150毫米、200毫米和300毫米晶圆的烘烤板自动尺寸

l 温度数据记录

l 顶针可编程,增量为0.1mm,总范围为0-19 mm

l 连接:USB/以太网端口,用于通过数据流上传/下载过程参数技术

精确

l 基板尺寸:最大300mm圆形;12英寸(304.8mm)方形基板

l 温度分辨率:0.1°C

l 温度范围:环境温度至300°C400°C可选)

l 工作表面温度均匀性:0.3%

可靠性

l 卓越的正常运行时间

l 零件和人工的1年全面保修

l 在产品生命周期内免费提供远程技术支持(电话、电子邮件、传真)




了解更多产品信息,请联系Helicoater工作人员,400 860 1856。

外部接口:

l 电压范围:208-240 VAC50/60 Hz

l 功率要求:3100-4100

l 排气口:外径2”50.8mm

l 真空:20英寸汞柱(67.7帕)

l 排气:510立方英尺/分(141.6-283.2/分钟)

l N2(烘烤板附近):35 psi241.3 Pa

尺寸

l 18英寸x18.75英寸x26.25英寸

l 机器重量:146磅(66.2千克)

l 装运重量:235磅(106.6千克)




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设备外观图片:






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