京公网安备11011402012510号 服务热线
400 860 1856
产品详细
Apogee 450匀胶显影机
名称：清洗显影机
型号：Developer450
品牌：Helicoater
产地：美国
参考价格：
应用：集成匀胶、清洗、显影功能
产品资料及报价，请拨打400电话24h热线：15711498201（微信同号），您将得到及时回复。
400 860 1856
累积关注：954 次
高功率伺服电机系统结合了极其精确的转速控制和高扭矩驱动，实现了强劲的加速度。适用于300 mm以上的晶圆片和高达14“×14”的LCD正方形样品。
Apogee 450匀胶显影机以高效、节省空间的设计，提供具有革命性接口功能和最大化学兼容性能。高功率伺服电机系统结合了极其精确的转速控制和高扭矩驱动，实现了强劲的加速度。适用于300 mm以上的晶圆片和高达14“×14”的LCD正方形样品。
产品特点
l 紧凑的设计，最大限度地减少占地面积
l 全彩色7英寸触摸屏显示屏
l 驱动系统（间接）具有同类中最高的马力
l 增强的盖提升辅助功能（气弹簧打开≥ 45°)
l 耐用的工作台设计，也可采用法兰/甲板安装配置
l 数据流™ 技术
l 可选的X-PRO工作站集成了独立机柜和上部排气外壳，用于过程烟气控制。
内腔设计：
l 高密度聚乙烯（HDPE）旋转碗
l 可选的封闭式和开放式盖子设计，实现了工艺灵活性
l 直接扇形喷射、侧角水坑和气流分配选项
l 集成排放口和排气口
l 可选自动氮气吹扫喷嘴
l 可选自动排放分离器（溶剂/水）
技术参数：
l 触摸屏界面和显示器
l 支持全彩色字母数字的图形用户界面（GUI）
l 用户定义的配方程序步骤数量几乎不限
l 步进时间的分辨率为0.1秒（最大步进时间为9999.9秒）
l 旋转速度：6000 rpm
l 旋转速度加速：
n 0至30000 rpm/s空载
n 0至23000 rpm/s，使用300 mm基板
n 0至3000 rpm/s，带350mm x 6mm圆槽旋转卡盘
n 0至400 rpm/s，在嵌入式旋转夹头中使用14”×14”×1.1 mm光罩
l 双向速度控制/摆动卡盘
l 连接：USB/以太网端口，用于上传/下载带有数据流的过程参数™ 技术
l 同步、自动化、多点分发功能
精确
l 转速重复性：<0.2 rpm
l 转速分辨率：<0.2 rpm
l 基底尺寸：圆形小于1厘米至450毫米；14英寸x 14英寸正方形
可靠性
l 间接驱动系统保护旋转电机不接触工艺化学品和溶剂
l 真空和盖联锁
l 业界领先的可靠性和正常运行时间
l 零件和人工的1年全面保修
l 在产品生命周期内免费提供远程技术支持（电话、电子邮件）
l 产品生命周期的应用过程协助
了解更多产品资料，请联系Helicoater工作人员,400 860 1856。
外部接口：
l 电压范围：208-240 VAC，单相，50/60 Hz
l 功率要求：1440瓦（6A）
l 排水口：外径3/4英寸
l 排气口：外径1.5英寸，在0.2英寸水（0.6-1.4立方米/分钟）下为20至50立方英尺/分
l 真空度：>20“Hg（<33 kPa abs）
l 氮气或CDA（用于自动分配）：70 psi（482 kPa）
l 显影剂喷洒和背面冲洗用去离子水（如果硬铅垂）：<30 psi（206.8 kPa）
尺寸
l 27-5/8英寸（70.2厘米）宽×30-3/4英寸（78.2厘米）深×16英寸（40.6厘米）高*
l 机器重量：115磅（52.2千克）
l 装运重量：250磅（113.4千克）
*H是盖上盖子的。盖子打开时，H为33英寸（83.8厘米）
**对于可选的烟囱罩，H为24-3/4”（62.9cm）关闭，36”（91.5cm）打开
了解更多产品资料，请联系Helicoater工作人员,400 860 1856。
产品询价与定购