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产品详细
Apogee 临时粘合机
名称：临时粘合机
型号：Bonder300
品牌：Helicoater
产地：美国
参考价格：
应用：晶元临时粘合工艺
产品资料及报价，请拨打400电话24h热线：15711498201（微信同号），您将得到及时回复。
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使用一种能够将晶圆从50毫米粘合到300毫米并支持所有脱粘过程的工具，最大限度地提高您的工艺选项。
Serving the Semiconductor Industry Since 1987
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利用Apogee加速产品开发并降低生产成本的键合系统。实现高产量和吞吐量，而无需全自动化的高成本和复杂性。
产品特点：
l 基板尺寸范围：50-300 mm
l 双压板从两侧加热晶片堆，最大限度地减少热缺陷
l 自流平压板将总厚度变化降至最低
l 真空粘合室消除了空隙
l 在粘结前排空过程中，载体和装置分开
技术参数：
l 用户友好的触摸屏界面和显示器
l 通过熟悉的浏览器用户界面远程访问粘合机
l 向任何启用web的设备发送推送通知
l 粘合程序：几乎无限的配方和步骤
l 步进时间的分辨率为0.1秒（时间：0-9999.9秒/步）
l 安全性：密码保护
l 查看流程状态并下载以进行脱机分析
l 每个晶圆的工艺可追溯性
l 活塞压力、力、温度、真空和循环时间的在线图形过程图表和日志
l 在实验室或洁净室外更新工艺粘接参数
可靠性和效率
l 总效率：14-20 WPH（取决于工艺）
l 适用材料：SiC、GaN、GaAs、InP、蓝宝石、硅、玻璃
l 12个月内系统正常运行时间>99%
l 平均修复时间（MTTR）<24小时
l 平均无故障时间（MTBF；小时，周期>600小时，6000个周期
了解更多产品资料，请联系Helicoater工作人员,400 860 1856。
规格和尺寸
l 粘合剂尺寸：48英寸宽x 31英寸深x 15英寸高
l 氮气或CDA:50 psi（1 cfm）
l 提供真空泵
l 电气要求：208-240 VAC:50/60 Hz，3400瓦（17安）
l 机器重量：320磅
l 装运重量：680磅
工具特性和规格
l 最高温度：300°C（可用更高温度）
l 活塞力：3.5-12k N
l 力分辨率：10-N步
l 用于控制力的精密气动系统
l 具有独立温度控制的双加热板
l 装载和卸载时无接触提取臂（在工艺温度下安全处理粘结对）
l 粘结室排空时间：<90秒
l 在粘结前排空过程中，载体和装置分开
l 压板温度均匀性：<1%
l 机械对准夹具与晶圆切口/平面兼容，支持使用非标准晶圆
l 对准精度：≤0.5 mm（取决于基板公差）
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