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产品详细
可编程匀胶机HC160SE
名称：可编程匀胶机HC160SE
型号：HC160SE
品牌：Helicoater
产地：中国
参考价格：
应用：编程控制，精密匀胶制膜
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HC160SE可编程匀胶机，采用高级PLC 全自动程序控制，转速精度高，稳定性好。
HC160SE可编程匀胶机，采用高级PLC 全自动程序控制，转速精度高，稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。
特点：
•设计紧凑，可放置在手套箱内；
•4.3英寸彩色触屏控制，人机界面；
•不锈钢外壳，美观耐腐蚀；
•经CNC一体加工成型的HDPE内腔，耐腐蚀，易清洁，带排废功能；
•内腔壁采用独特的凹面设计，有效防溅；
•高级PLC全自动程序控制，可编程；
•带真空度安全互锁检测功能；
•带盖子安全互锁检测功能；
•带排废接口；
•可设置用户密码保护功能；
•配置可调基座，方便调节水平；
HC160SE可编程匀胶机
HDPE耐腐蚀内腔
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技术参数：
•适用晶元尺寸范围：Ø10~160mm；
•旋涂速度：100~12000rpm；
•转速分辨率：1rpm；
•旋涂加速度：100-30000rpm/s；
•最大旋涂时间：3000s；
•旋涂时间精度：0.1s；
•内腔直径220mm，内腔壁采用独特的凹面防溅设计；
•具备单步快速旋涂和多步编程旋涂，可编程10组程序，每组程序10步；
•电源输入：AC200-230V；
多种规格载物盘
设备外形尺寸：长X宽X高：310X254X250mm
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