产品特点：

l 新的紧凑设计，最大限度地减少占地面积

l 全彩色7英寸触摸屏显示屏

l 高密度聚乙烯（HDPE）内腔，实现最大的化学兼容性

l 耐用的工作台设计，可转换为法兰/甲板安装配置（可安装在X-Pro II工作站中）

l DataStream™ 技术作为标准接口

技术参数：

l 触摸屏界面和显示器

l 支持全彩色字母数字的图形用户界面（GUI）

l 用户定义的配方程序步骤数量几乎不限

l 步进时间的分辨率为0.1秒（最大步进时间为9999.9秒）

l 旋转速度：12000 rpm

l 旋转速度加速：

      0~30000 rpm/s（空载）；

      0~23000 rpm/s（200 mm基板）；

      0~3000 rpm/s（凹卡盘中带有6”×6”×0.250”光罩）

l 连接：USB/以太网端口，用于通过数据流上传/下载过程参数™ 技术

l 同步双自动分配功能

l 过程中/动态速度/加速度控制

精确性：

l 转速重复性：<0.2 rpm

l 转速分辨率：<0.2 rpm

l 基底尺寸：圆形小于1厘米至200毫米；7英寸x 7英寸正方形

可靠性：

l 间接驱动系统保护旋转电机不接触工艺化学品和溶剂

l 真空和盖联锁

l 业界领先的可靠性和正常运行时间

l 1年全面保修

l 在产品生命周期内免费提供远程技术支持（电话、电子邮件、传真）

l 产品生命周期的应用过程协助

耐腐蚀内腔：

l 高密度聚乙烯（HDPE）旋转碗，确保材料兼容性

l 可选聚乙烯一次性衬里

l 多功能盖子设计，可实现工艺灵活性和可重复性

l 惰性旋转环境的可选氮气吹扫

l 集成排放口和排气口