Apogee200匀胶显影机

Apogee200匀胶显影机是在高精度Apogee匀胶机的基础上，增加清洗、显影、吹气等功能，同时保持对深入过程数据和配方创建方法的访问。

Apogee 450匀胶显影机

高功率伺服电机系统结合了极其精确的转速控制和高扭矩驱动，实现了强劲的加速度。适用于300 mm以上的晶圆片和高达14“×14”的LCD正方形样品。