Apogee™精密匀胶机以高效、节省空间的设计提供稳定的质量性能、丰富的接口功能和强大的化学兼容性。大尺寸匀胶机结合了极其精确的旋涂速度控制和高扭矩驱动，实现了强劲的加速度。适用于300毫米及更大晶圆和14英寸×14英寸的LCD正方形样品。

产品特点：

l 紧凑的设计，最大限度地减少占地面积

l 全彩色7英寸触摸屏显示屏

l 高功率间接电机驱动系统

l 增强的盖提升辅助功能（气弹簧打开≥ 45°)

l 耐用的工作台设计，也可采用法兰/甲板安装配置

l DataStream™技术

l 可选X-PRO工作站集成独立机柜

l 带有上部排气罩，用于工艺烟气控制。

耐腐蚀内腔：

l 高密度聚乙烯（HDPE）旋转碗

l 多功能盖子设计，可实现工艺灵活性和可重复性

l 惰性旋转环境的可选氮气吹扫

l 集成排放口和排气口

技术参数：

l 触摸屏界面和显示器

l 支持全彩色字母数字的图形用户界面（GUI）

l 用户定义的配方程序步骤数量几乎不限

l 步进时间的分辨率为0.1秒（最大步进时间为9999.9秒）

l 旋转速度：6000 rpm

l 旋转速度加速度：

n 0~30000 rpm/s空载；

n 0~23000 rpm/s，使用300 mm基板；

n 0~3000 rpm/s，使用350 mm x 6 mm圆形嵌入式旋转卡盘；-0至400 rpm/s，使用嵌入式卡盘中的14”×14”×1.1 mm光罩

l 连接：用于通信的USB/以太网端口

l 用于使用DataStream™上载/下载过程参数技术

l 同步、自动化、多点分发功能

精确：

l 转速重复性：<0.2 rpm

l 转速分辨率：<0.2 rpm

l 基底尺寸：圆形小于1厘米至450毫米；14英寸x 14英寸正方形

可靠性：

l 间接驱动系统保护旋转电机不接触工艺化学品和溶剂

l 真空和盖联锁

l 业界领先的可靠性和正常运行时间

l 零件和人工的1年全面保修

l 在产品生命周期内免费提供远程技术支持（电话、电子邮件）

l 产品生命周期的应用过程协助

了解更多产品资料，请联系Helicoater工作人员, 400 860 1856.