载物盘

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详细介绍

方形和矩形通常用于各种应用。由于空气湍流的增加,这些方形和矩形基板为旋涂带来了独特而复杂的挑战。前缘会导致明显的湍流,从而导致薄膜树脂的蒸发不均匀和均匀性差。方形或矩形基板上常见的缺陷通常被称为边缘堆积边缘干涉带。


使用凹入式旋转卡盘(一种模拟圆形基板的设计)可以通过显著减少湍流从而提高涂层质量来解决这些问题。嵌入式旋转夹头的其他优点包括自动居中和提供真空夹持的能力。





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