常规圆形载物盘

推荐用于标准厚度、圆形基板和工件。

嵌入式方形载物盘

用于方形和矩形基板的真空吸附载物盘。

多孔材料载物盘

对于较薄的基板（<250μm厚），我们开发了一种多孔陶瓷嵌件设计，该设计具有完全支撑任何给定基板尺寸背面的显著优势。

对中装置

辅助基片对中，以获得更好的旋涂制膜效果。